Spezialqualitäts-UV -Lampen

Dies sind ideale Lichtquellen für die Sub-Mikron-Lithographie (<1µm), wo die Auflösung stark von der Wellenlänge der Lichtquelle abhängt. Die hochwertigen USHIO UV-Lampen bieten eine starke Strahlungsleistung bei hoher Homogenität in einem großen Beleuchtungsbereich, wie er bei der Sub-Mikron-Litographie benötigt wird.

Ushio Code	Wattage (W)
SUV-1500CIL	1500
SUV-1500SIL	1500
SUV-2000HI	2000
SUV-2000NIL	1750
SUV-2001CIL	2000
SUV-2001NIL	1750
SUV-2002NIL	1750
SUV-2011NIL	2000
SUV-2011NIHL	2000
SUV-2500SIL	2500
SUV-2501NIL	2500
SUV-2510NIL	2500
SUV-2510 NIHL	2500
SUV-2701CI	2700
SUV-3500NI	3500
SUV-3500SIL	3400
SUV-5500SI	5500